近日，牧风科技成功交付与国内某著名高校合作开发的光刻机部件产品。
接到项目任务伊始，牧风迅速组织科研力量进行设计研讨、工艺路线评审等基础准备工作。很短的时间内便完成了承片台空气轴承的设计、生产。通过与需求单位的共同总装调试，设备总体精度（1μm）满足性能指标要求。
本套光刻机的成功交付，证明了牧风科技的实力。同时，增强了牧风科技在精加工/超精加工、空气轴承及其解决方案等相关领域大踏步昂首向前的信心。
