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首页 > 产品介绍 > 旋转气浮轴承 转台
旋转气浮轴承 转台

转台采用超精密气浮技术和高精度机电控集成技术,可提供稳定的高速回转运动以及  优异的回转精度,并兼有在轴向和径向高负载高刚度的特点。如果您有空气轴承和气浮转台方面的需求,请联系我们400-616-8996。


旋转空气轴承与气浮转台的优点

高速度 ( 0-30000rpm可定制 )

高精确度 ( 旋转精度<100nm )

大承载 ( 0 --16000kg)

工作台多种选择 Φ20 - Φ2000

无摩擦力,无磨损

低噪音,无污染

超长寿命,易维护

接受非标定制


旋转空气轴承

image.png 旋转气浮轴承 转台(图2)

规格与性能

image.png

image.png

* 请按照规定压力供气,供气压力0.5-0.7MPa;

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1,无油 IS08573-1 级别1,干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。


气浮转台

image.png 1.1气浮转台.jpg

规格与性能表(以 8 寸晶圆转台为例)

image.png

* 请按照规定压力供气,供气压力0.5-0.7MPa;

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1,无油 IS08573-1 级别1,干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。


气浮转台尺寸规格图

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气浮转台应用案例

image.png

应用领域 

半导体设备减薄机转台   航空发动机装配测试台   航天转动惯量测量平台    精密仪器轴承:圆度仪等


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