平面超精加工是超精加工的一种，一般通过精密磨床磨削、研磨机研磨或者手工研磨的方法加工。这三种方法各有精度与效率各有不同，通常情况下这三种方法配合使用，可以达到较高的精度。平面超精密加工在精密制造业中占有广阔的地位，如光学镜片、硬盘盘片、量规等等。

研磨是平面超精密加工中的重要方法。通过配置研磨压力、磨料尺度、磨盘硬度等参数，提高加工效率与加工质量。

“牧风”掌握平面超精密加工中的核心加工工艺，可以很容易的将Φ300mm直径的平板的平面度加工到小于1μm平面度。