半导体制造行业对精度、速度以及洁净度要求非常高。由于空气轴承具有重复性好、速度高、刚度大、零摩擦、零振动与低噪音等特点,所以非常适合用于半导体制造领域。一般空气轴承可以用在晶片切割、晶片检测、晶片修复等方面。
相关应用产品介绍 |
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线性运动产品 “牧风科技”的圆形空气轴承、矩形空气轴承、真空预载荷空气轴承、气浮轴套与线性导轨等产品都适用于高精度的线性运动。 |
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旋转运动产品 “牧风科技”的气浮轴套可以为高精度的旋转运动和定位设备配套。 |
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气浮运载产品 “牧风科技”的输送导轨可以用于输送高精度的面板与仪器。 |
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快速伺服产品 “牧风科技”的气浮轴套可以为高精度的线性运动和定位设备配套。 |