空气主轴精确的、可重复的运动,使得表明光度达到了非常出色的程度。
空气主轴的应用(如:半导体加工)提供了流畅的、精确的、可重复的运动——使得表面光度更佳。与滚珠轴承主轴不同,空气轴承提供了稳定的轴承硬度,能够确 保所加工的硬质材料表面以下部分的破损程度最小。由于硬度是由贯穿轴承的、始终如一的空气流提供的,转子所经受的、来自外负载的作用力,在其旋转时稳定的 分布在所有点上。这一特性与研磨时产生良好的表面光度息息相关。
典型的表面光度:
表面研磨——<0.05微米(2微英寸)CLA
菱形转动、或者飞刀切削丙烯酸树脂和软性材料——<0.012微米(0.5微因存)CLA,达到稳定的光学品质
空气轴承硬度值:
——轴向:达到250牛顿/微米(1,400,000磅/英寸)
——径向:达到580牛顿/微米(3,300,000磅/英寸)