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超精密气浮定位工作平台

        常规的精密运动平台多以机械接触式的移动副和旋转副构成,而机械摩擦及其发热致使这类机构的结构动力学性能受到限制,运动精度一般只能达到微米级。显然,常规的精密运动机构是无法满足诸如微电子制造装备纳米级甚至亚纳米级运动精度的要求。

超精密气浮定位平台通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,可以提高平台机构运动的精度。“牧风科技”就此进行了多年的理论探索与研究,并在不断的改进过程中生产出更高精度、更高性能的超精密定位工作台。
超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件,它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来,微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小,逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度,超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高,并且随着所需精度的提高,超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前,国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台,对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究,推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。
微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展,对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的,其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如:定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的,为了满足高精度的要求,定位工作台的最小运动量(或位移分辨率)要越小越好,而在伺服系统调速比有限的情况下,定位工作台的速度又不能随意地提高;长行程和高精度的要求也是矛盾的,行程越长,意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感,对零部件的加工和安装精度要求也更勾苛刻,即定位工作台的行程受到现有加工和安装精度的限制;自动化程度与可靠性也是一对矛盾,自动化程度越高,系统越复杂,实现高的可靠性就越难。同时,高精度、高速度、长行程对控制系统的实现也提出了挑战。而在这众多的矛盾中,最突出的是如何消除精密定位工作台运动部件间的摩擦。
 
在长期的研发过程中“牧风科技”认为,解决这一矛盾的有效方法之一就是采用气浮技术。在基于气浮支承和直线电动机驱动技术的超精密、长行程气浮定位工作台领域,“牧风科技”可以提供包括设计、制造与配套的全方位解决方案。

 


 

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